第(1/3)页 四月中旬,吉省长光所。 地下实验室的无尘室外,王老的团队已经连轴转了两天两夜。 玻璃窗内,一组从樱花国弄回来的日产光学物镜被拆成了几十个编号部件。 镜片、隔圈、压环、镀膜样片,全都铺在防静电垫上。 每一个动作都慢得要命。 因为这玩意儿不是普通镜头。 它关系到光刻机能不能从现有水平,往1.5微米制程上再迈一步。 林希站在玻璃窗外,看着里面的进度。 这时,江俊拿着一份资料册快步走了过来。 “林经理。” 他的声音比三年前稳了太多。 三年前,江俊站在林希面前时,背是塌的,手里攥着女儿的病历。 现在,他白大褂袖口卷到小臂,资料册夹在胳膊下,开口第一句就是工艺参数。 “光刻机要升级到1.5微米制程,光有镜头不够。” 江俊翻开工艺资料册,指着设计图上的对齐位。 “1.5微米线宽,上下层对齐的套刻精度,最多只能容忍300纳米误差。” 他手指敲了敲图纸。 “也就是说,我们的尺子,得能量出几十纳米级别的微小位移。” 江俊合上资料,语气很沉。 “三年前搞出来的1微米精度光栅尺,已经不够用了。” 林希点了点头。 他很清楚,在1984年,测量工具的精度落后,就是卡死芯片制程的物理天堑。 你连工作台挪了多少都量不准,还谈什么套刻? 芯片不是靠热血喊出来的。 每一道线,都得用精度咬出来。 “跟我来。” 江俊没多解释,转身就走。 林希跟着他推开走廊尽头一间独立实验室的门。 屋里温度比外面低,墙角的除湿机一直在响。 光学平台四周拉着黑色遮光帘,地面上连脚印都很少。 江俊走到一张光学平台前,手指搭在防静电黑布边缘,停了半秒。 那动作不像揭布。 更像是掀开自己三年心血的盖头。 他一把拉开黑布。 光学平台上,一台半米长的金属设备安安静静躺着。 结构紧凑,反光镜组排布复杂,铝合金外壳擦得发亮。侧面贴着一张手写标签。 CQ-1型双频氦氖激光干涉仪。 林希蹲下来,绕着看了一圈。 第(1/3)页